Halbleiterepitaxie
Abteilungsleiter
Arbeitsgebiete
- Epitaxie von Halbleiterschichten
- Metallorganische Gasphasenepitaxie
- Sputterepitaxie
- laser-assistierte lokale Epitaxie
- elektronische und optoelektronische Bauelemente
- Röntgenbeugung
- Sekundärionenmassenspektroskopie
- elektrische Meßverfahren
Schwerpunkte
- nitridische Hableiter (GaN, AlN, ternäre Verbíndungen)
- konventionelle III/V-Halbleiter (GaAs, InP)
- Übergangsmetallnitride
- Quantenpunkte
- Tunnelübergänge
- LED, HEMT, Quantenlichtquellen, Laser